光掩膜石英玻璃基板是光掩膜技术中的上游产品,广泛应用于半导体和光学等领域.随着半导体器件的集成化发展,对光掩膜石英玻璃基板的技术要求也越来越高.为满足市场需求,光掩膜石英玻璃基板的制造工艺也在不断改进,包括材料石英锭的熔制,热加工和冷加工等工艺.
石英玻璃（JGS1/JGS2）热膨胀系数极小，受温度影响微弱；透光性优异，部分型号可定制超薄厚度（0.3mm、0.5mm等） 。 表面镀膜工艺分黄、蓝、银色系（不同国家偏好），膜层牢固度决定标定板寿命 。
精度与定制
图案线性细度可达 2微米，最高精度 0.25微米 ； 支持定制尺寸（如63mm×63mm常规款或800×960mm超大掩膜版）、图案及厚度 。 插入石英标定板实拍图集 （此处将展示石英标定板的多角度显微摄影，包含不同镀膜色系、微米级刻度线特写及超薄边缘剖面）
适用场景对比
材质 抗反光性 耐冲击性 温度稳定性 石英玻璃 需镀膜处理 低 最优 陶瓷基 优异 中 高 金属铝 优异 极高 中 工业应用提示 若需避免镜头反光干扰，建议选择石英基底镀哑光膜或陶瓷基标定板 ； 极端环境（高温/振动）首选石英或金属基材，常规实验室可用高性价比苏打玻璃 。
展开剩余54%注：标定板的图案精度验证需通过专业光学仪器，非肉眼可判别
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